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影响涡流测厚仪测量精度的因素
发布时间: 2022-04-06  点击次数: 947次

影响涡流测厚仪测量精度的因素

        根据国家标准GB/T4957-2003《非磁性金属基材上非导电涂层厚度测量的涡流法》,以下因素会影响测量精度。
         1. 覆盖层厚度
        测量不确定度是涡流厚度测量方法所固有的。对于较薄的覆盖层(例如,小于 25 μm),测量不确定度是一个恒定值,与覆盖层厚度无关,每次测量至少为 0.5 μm。对于仪器,这种不确定性为 0.5 μm 至 1 μm。对于厚度大于 25 μm 的较厚覆盖层的厚度的一定比例。对于该仪器,这种不确定性是覆盖层厚度的 2%。
        对于厚度小于或等于5μm的覆盖层,厚度值应为多次测量的平均值。
        对于小于3μm的涂层厚度,不能准确测量膜厚值。
         2、母材的导电性
        涡流测厚法的测量值会受到母材导电率的影响。金属的导电性与其材料成分和热处理有关。电导率对测量的影响因仪器的制造商和型号而异。本仪器的测量几乎不受jian金属电导率的影响。
         3、母材厚度
        每台仪器都有一个临界的基体金属厚度,超过这个厚度,测量值将不受基体厚度增加的影响。这个临界厚度值取决于仪器探头系统的工作频率和基底金属的导电性。本仪器的临界厚度值约为0.3~0.4 mm。
        将基底金属厚度低于临界厚度的样品与相同材料和厚度的未涂层材料叠加是不可靠的。
         4.边缘效果
        涡流测厚仪对样品表面的不连续性很敏感。太靠近样品边缘的测量结果不可靠。如果必须在小区域或窄条上进行测量,可以使用与基板形状相同的无涂层材料重新校准仪器。对于本仪器,当测量面积小于 150 mm2 或样品宽度小于 12 mm 时,在相应的未涂层材料上重新校准仪器。
         5.曲率
        试样曲率的变化会影响测量。试样曲率越小,对测量值的影响越大。对于本仪器,当测量直径小于 50 毫米的样品时,仪器应在相同直径的无涂层材料上重新校准。
         6、表面粗糙度
        母材和覆盖层的表面粗糙度会影响测量值。可以通过对不同位置的多个测量值进行平均来减少这种影响。如果基体金属表面粗糙,还应在涂装前对相应金属材料上的多处校准仪零位。
         7、探头与样品表面紧密接触
        测厚仪的探头必须与样品表面紧密接触。样品表面的灰尘和污垢会影响测量值。因此,在测量过程中应保持探头jian端和样品表面清洁。
        当叠加两个或多个已知厚度值的校准箔时,测量值大于校准箔厚度的总和。箔片越厚越硬,这种偏差就越大。原因是箔片的叠加影响了探针与箔片和箔片的紧密接触。
         8、探头压力
        在测量过程中,施加在探头上的压力会影响测量值。仪器在探头内装有恒压弹簧,可保证每次测量时探头对样品施加的压力保持不变。
         9. 探头的垂直度
        温度变化会影响探头参数。因此,仪器应在与操作环境大致相同的温度下进行校准。仪器进行了良好的温度补偿,温度变化对测量值影响不大。

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