X熒光光譜儀ROHS檢測儀的分類(lèi)、應用及工作原理
分類(lèi):ROHS檢測儀就是X射線(xiàn)熒光光譜儀, X射線(xiàn)熒光光譜儀通??煞譃閮纱箢?lèi),波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀和能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀
應用:利用X射線(xiàn)檢測ROHS標準規定中的元素的含量
工作原理:
1、波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線(xiàn),根據Bragg定律,通過(guò)測定角度,即可獲得待測元素的譜線(xiàn)波長(cháng):
nλ=2dsinaθ (n=1,2,3…)
式中 ,λ為分析譜線(xiàn)波長(cháng);d為晶體的晶格間距;θ為衍射角;n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線(xiàn)的衍射角,利用上式可以計算相應被分析元素的波長(cháng),從而獲得待測元素的特征信息。
2、能量色散射線(xiàn)熒光光譜儀則采用能量探測器,通過(guò)測定由探測器收集到的電荷量,直接獲得被測元素發(fā)出的特征射線(xiàn)能量:
Q=kE
式中,K為入射射線(xiàn)的光子能量;Q為探測器產(chǎn)生的相應電荷量;k為不同類(lèi)型能量探測器的響應參數。電荷量與入射射線(xiàn)能量成正比,故通過(guò)測定電荷量可得到待測元素的特征信息。
待測元素的特征譜線(xiàn)需要采用一定的激發(fā)源才能獲得。目前常規采用的激發(fā)源主要有射線(xiàn)光管和同位素激發(fā)源等。
為獲得樣品的定性和定量信息,除光譜儀外,還必須采用一定的樣品制備技術(shù),并對獲得的強度進(jìn)行相關(guān)的譜分析和數據處理。